Schichttechnik
Aus WISSEN-digital.de
auch: Filmtechnik;
Schichttechnik ist eine Technik der Mikroelektronik zur Herstellung von meist passiven Bauelementen (Induktivitäten, Kondensatoren, Widerstände) und Schaltungen sowie den leitenden Verbindungen mittels leitender oder halbleitender Schichten auf einem Glas- oder Keramiksockel. Die wichtigsten Verfahrensschritte in der Schichttechnik sind das Ätzen, der Siebdruck und Verfahren der Galvanotechnik.
Es werden Dickschichttechnik (Dickfilmtechnik) und Dünnschichttechnik (Dünnfilmtechnik) unterschieden:
- Dickschichttechnik: Schichtdicke ca. 30 Mikrometer; Substrat aus Aluminiumoxid, Berylliumoxid, Steatit oder Titanat; Realisierung von Dickschichtwiderständen, -induktivitäten, -kondensatoren und -verbindungen.*Dünnschichttechnik: Schichtdicke weniger als 1 Mikrometer; Substrat aus Glas, Keramik, oder Saphir; Realisierung von streifen- oder mäanderförmigen Widerständen, Kondensatoren mit übereinander liegenden Metall-Dielektrikum-Metall-Schichtfolgen, aufgedampfte Leiterbahnen aus Kupfer, Silber oder Gold.Angewendet wird die Schichttechnik beispielsweise in der Hybridtechnologie und für Dünnschichttransistoren in der SOS-Technik (englisch: silicon on sapphire, deutsch: Silizium auf Saphir; eine Technologie zur Verringerung der parasitären Kapazitäten bei hochintegrierten Schaltkreisen).
Kalenderblatt - 3. Mai
1951 | Der Europarat nimmt die Bundesrepublik Deutschland als vollwertiges Mitglied auf. Seit dem 15. November 1950 besitzt die Bundesrepublik die assoziierte Mitgliedschaft. |
1971 | Erich Honecker löst Walter Ulbricht in seinem Amt als Erster Sekretär der SED ab. Damit beginnt in Ostdeutschland die Ära Honecker, die bis kurz vor dem Mauerfall andauert. |
1993 | Björn Engholm, Ministerpräsident von Schleswig-Holstein, tritt von seinem Amt zurück. Er zieht damit die Konsequenz seiner Falschaussage bezüglich der Barschel-Affäre. Engholm wollte in den nächsten Bundestagswahlen als Vertreter der SPD gegen Helmut Kohl um das Kanzleramt konkurrieren. Johannes Rau löst ihn in seinem Amt als SPD-Chef vorläufig ab. |
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