Schichttechnik

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    auch: Filmtechnik;

    Schichttechnik ist eine Technik der Mikroelektronik zur Herstellung von meist passiven Bauelementen (Induktivitäten, Kondensatoren, Widerstände) und Schaltungen sowie den leitenden Verbindungen mittels leitender oder halbleitender Schichten auf einem Glas- oder Keramiksockel. Die wichtigsten Verfahrensschritte in der Schichttechnik sind das Ätzen, der Siebdruck und Verfahren der Galvanotechnik.

    Es werden Dickschichttechnik (Dickfilmtechnik) und Dünnschichttechnik (Dünnfilmtechnik) unterschieden:

    • Dickschichttechnik: Schichtdicke ca. 30 Mikrometer; Substrat aus Aluminiumoxid, Berylliumoxid, Steatit oder Titanat; Realisierung von Dickschichtwiderständen, -induktivitäten, -kondensatoren und -verbindungen.*Dünnschichttechnik: Schichtdicke weniger als 1 Mikrometer; Substrat aus Glas, Keramik, oder Saphir; Realisierung von streifen- oder mäanderförmigen Widerständen, Kondensatoren mit übereinander liegenden Metall-Dielektrikum-Metall-Schichtfolgen, aufgedampfte Leiterbahnen aus Kupfer, Silber oder Gold.Angewendet wird die Schichttechnik beispielsweise in der Hybridtechnologie und für Dünnschichttransistoren in der SOS-Technik (englisch: silicon on sapphire, deutsch: Silizium auf Saphir; eine Technologie zur Verringerung der parasitären Kapazitäten bei hochintegrierten Schaltkreisen).

    Kalenderblatt - 3. Mai

    1951 Der Europarat nimmt die Bundesrepublik Deutschland als vollwertiges Mitglied auf. Seit dem 15. November 1950 besitzt die Bundesrepublik die assoziierte Mitgliedschaft.
    1971 Erich Honecker löst Walter Ulbricht in seinem Amt als Erster Sekretär der SED ab. Damit beginnt in Ostdeutschland die Ära Honecker, die bis kurz vor dem Mauerfall andauert.
    1993 Björn Engholm, Ministerpräsident von Schleswig-Holstein, tritt von seinem Amt zurück. Er zieht damit die Konsequenz seiner Falschaussage bezüglich der Barschel-Affäre. Engholm wollte in den nächsten Bundestagswahlen als Vertreter der SPD gegen Helmut Kohl um das Kanzleramt konkurrieren. Johannes Rau löst ihn in seinem Amt als SPD-Chef vorläufig ab.