Mikrosystemtechnik

Teilbereich der Technik, der sich mit der Konstruktion und Herstellung technischer Baugruppen befasst, die sich aus mikroelektronischen, mikromechanischen, mikrooptischen oder mikrofluiden Komponenten zusammensetzen. Mithilfe der Mikrosystemtechnik werden die Wechselwirkungen der einzelnen Komponenten aufeinander abgestimmt und zu einem Gesamtsystem integriert. Mikrosysteme kommen in allen Bereichen der Technik zur Anwendung (Medizintechnik, Anlagenüberwachung, Automobilbau).